半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備國產(chǎn)替代趨勢(shì)月度跟蹤：3月招標(biāo)以研磨拋光／清洗設(shè)備為主 Q1國產(chǎn)中標(biāo)比例顯著

核心觀點(diǎn)：

3 月合計(jì)4 項(xiàng)招標(biāo)，主要為中芯國際、華虹半導(dǎo)體和燕東微電子招標(biāo)，招標(biāo)設(shè)備主要包括研磨拋光和清洗等品類。根據(jù)采招網(wǎng)的數(shù)據(jù)，2025年3 月，統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線合計(jì)產(chǎn)生4 項(xiàng)招標(biāo)。主要為中芯國際、華虹半導(dǎo)體和燕東微電子招標(biāo)。招標(biāo)設(shè)備主要包括研磨拋光和清洗等品類。2025 年1-3 月，統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線合計(jì)招標(biāo)15 項(xiàng)，其中，積塔半導(dǎo)體、燕東微電子、中芯國際的招標(biāo)量位居前三。整體而言，設(shè)備招標(biāo)以檢測(cè)、研磨拋光等為主。

1-3 月合計(jì)11 項(xiàng)中標(biāo)，以檢測(cè)和離子注入設(shè)備居多，中標(biāo)設(shè)備里國產(chǎn)設(shè)備整體中標(biāo)比例約82%。中標(biāo)方面，根據(jù)采招網(wǎng)的數(shù)據(jù)，2025 年3月，統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線上中標(biāo)1 臺(tái)檢測(cè)設(shè)備。2025 年1-3 月，統(tǒng)計(jì)樣本中的晶圓產(chǎn)線合計(jì)中標(biāo)11 臺(tái)設(shè)備，以檢測(cè)和離子注入設(shè)備居多；國產(chǎn)設(shè)備整體中標(biāo)比例約82%，其中，刻蝕、退火、去膠、研磨拋光、離子注入設(shè)備的國產(chǎn)中標(biāo)比例較高。

1-3 月統(tǒng)計(jì)樣本中的國內(nèi)設(shè)備廠商共中標(biāo)4 臺(tái)設(shè)備，主要為中科飛測(cè)、華海清科、中科信中標(biāo)。根據(jù)采招網(wǎng)的數(shù)據(jù)，2025 年1 月，統(tǒng)計(jì)樣本中的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計(jì)中標(biāo)3 臺(tái)設(shè)備，中科信中標(biāo)的2 臺(tái)離子注入設(shè)備，在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為100%，華海清科中標(biāo)的1 臺(tái)研磨拋光設(shè)備，在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為100%。2025 年2 月，中科飛測(cè)中標(biāo)的1 臺(tái)檢測(cè)設(shè)備，在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為33%。

2025 年1-3 月，統(tǒng)計(jì)樣本中的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計(jì)中標(biāo)4 臺(tái)設(shè)備，統(tǒng)計(jì)樣本中的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計(jì)中標(biāo)量在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為57%。其中，華海清科的研磨拋光設(shè)備、中科信的離子注入設(shè)備、中科飛測(cè)的檢測(cè)設(shè)備在對(duì)應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例分別為100%/100%/25%。

投資建議：在本土晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張、半導(dǎo)體制造技術(shù)迭代升級(jí)和國產(chǎn)替代加速突破的趨勢(shì)下，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)持續(xù)擴(kuò)容。國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商依托公司自身的產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力、持續(xù)拓展的可服務(wù)市場(chǎng)空間和品類擴(kuò)張能力，有望持續(xù)受益于設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的擴(kuò)張和國產(chǎn)替代進(jìn)程的深入，成長速度和空間均十分顯著。建議關(guān)注在半導(dǎo)體核心工藝環(huán)節(jié)強(qiáng)勢(shì)卡位和今年有新品類拓展的公司：北方華創(chuàng)、中微公司*、拓荊科技、中科飛測(cè)、華海清科、盛美上海*、萬業(yè)企業(yè)、芯源微、華峰測(cè)控*、長川科技*等標(biāo)的。（帶*標(biāo)的為與廣發(fā)機(jī)械聯(lián)合覆蓋）

風(fēng)險(xiǎn)提示：市場(chǎng)需求不及預(yù)期，研發(fā)不及預(yù)期，市場(chǎng)開拓不及預(yù)期。

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